超声波是一种频率超过16000Hz的纵波， 它具有很强的能量传递能力，能够在传播方向上施加压力；在液体介质传播时能形成局部“伸”“缩”冲击效应和空化现象；通过不同介质时，产生波速突变，形成波的反射和折射；一定条件能产生干涉、共振。利用超声波特性来进行加工的工艺称为超声波加工。   
超声波加工的原理是工具端面作超声频的振动，通过悬浮磨料对脆硬材料进行高频冲击、抛磨工件，使得脆性材料产生微脆裂，去除小片材料，由于频率高，其累积效果使得加工效率较高，再加上液压中正负冲击波使工件表层产生伸缩效应和“空化”效果，即工具离开工件时，间隙内成负压产生局部真空和空腔（泡）；接近时，空泡闭合或破裂，产生冲击波，液体进入裂缝，强化加工和材料脱离工件，并使磨料得到更新；可见超声加工材料去除是磨料的机械冲击作用为主、磨抛与超声空化作用为辅的综合结果。
特点：
1）适合脆性材料工件加工：材料越脆，加工效率越高，可加工脆性非金属材料，如，玻璃、陶瓷、玛瑙、宝石、金刚石等，但硬度高、脆性较大的金属，如，淬火钢、硬质合金等的加工效率低；
2）机床结构简单，较软工具可以复杂设制、成型运动简单；
3）宏观力小的冷加工工艺，无热应力、无烧伤、可加工薄壁、窄缝、低刚度零件。